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SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行、前版は2010年3月に発行された。
マスフローデバイスで使用される際のガスを順番に並べた参照表となり、半導体産業で使用されるガスに番号を付けた表を提供すること。簡単に作る。
参照されるSEMI規格なし。
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