SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブプロセス，最終組立のためのガイド -

Abstract

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本概説標準の目的は、 SEMI E49.2 、セミ E49.4 、セミ E49.5 、セミ E49.6 、セミ E49.7 、セミ E49.8 、セミ E137 については引き続きの基本的な定義と参照文書を提供することである。

本書には推奨される手法を始める性能以外の方法の基準についてはSEMI E49.2 、セミ E49.4 、セミ E49.5 、セミ E49.6 、セミ E49.7 、セミ E49.8 、 SEMI E137 で使用される用語ともに参照文書を含みます。

SEMI E49 の副文書、配管分配システムの型式 － ガス、 DI ／化学薬品、溶剤 － および、組み立ておよびテスト手順の種類 － 最終的には、最も重要なパラメータ（例：純度、完全性、欠陥率）すべてについて該当するSEMI E49 の副文書に信頼されるテスト，確認されるべきである。

本配管分配のための文書（ SEMI E49.2 – SEMI E49.8 ）は、システム設計、性能、材料、構成のためのガイドラインを取り入れている。

HP というかUHP ツールの性能の最適な適用を決めるために，ユーザはツール全体のCOO（所有コスト）分析を完了させるべきものである。配管システムの限界性とサブシステムの配分、ウェーハ品質とウェーハスループットの優先などへの結果的な影響である。

最終組立は使用に伴う環境、健康、安全性に関するSEMI S2 の基準で評価されるべきである。

下位標準（付属）

SEMI E49.2 — ポリマーの認定に関するガイドライン 半導体の超純水および液体化学システムで使用されるアセンブリ プロセス装置

SEMI E49.4 — 高純度溶媒分配ガイド 半導体製造装置のシステム

SEMI E49.5 — 超高純度溶媒のガイド 半導体製造装置の配電システム

SEMI E49.6 — サブシステムの組み立ておよびテスト手順のガイド – ステンレススチールシステム

SEMI E49.7 — 設計および製造のための純度ガイド 半導体プロセス装置における超純水および薬液システム

SEMI E49.8 — 高純度および超高純度ガスのガイド 半導体製造装置の配電システム

参照されるSEMI規格 (別途購入してください)

SEMI E35 — ガイド 半導体製造の所有コスト (COO) 指標を計算する 装置

SEMI E137 — ガイド 最終組み立て、梱包、輸送、開梱、および再配置 半導体製造装置

セミS2 — 半導体製造の環境、健康、安全に関するガイドライン 装置

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