{"product_id":"e04701-semi-e47-1-300-mmウェーハ搬送および保管用foupの機械仕様","title":"E04701 - SEMI E47.1 - 300 mmウェーハ搬送および保管用FOUPの機械仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、Physical Interfaces \u0026amp; Carriers Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2012年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月24日、global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2012\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年5\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww. semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよびwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e1997年発行。前版は2006\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意： 本書は、編集上の修正を伴い、再承認されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、IC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e製造工場において300mm径ウェーハの搬送および保管に使用されるFOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを、一部規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインターフェースにてそこで、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮しない最小レベルの仕様を決定することである。\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，（ドアメカニズムやキネマティックカプリングを除く）表面仕様が要求されることはほとんどありません。 FOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに対する物理的なインターフェースだけが規定されています，材料本基準に規定された容器は、遮断されたミニエンバイロメント用途を意図しているが、慎重うまく設計された自動化インターフェースを伴ったボックスであるとの解釈でも構わない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eFOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eは次の構成部分と付加構造となる（カッコ内は個数を示す）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e凡例：\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e要求される構造\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eオプション構造\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eトップ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eトップハンドリングフランジ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eトップハンドリングフランジ上の中心穴\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eトップハンドリングフランジ上のキネマティック溝（オプション） \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e(3)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e内側\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eウェーハ\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e13\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e枚または25\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e枚用カセット\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eウェーハを固定する機構\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eエンドエフェクタ排除領域\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e側面\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eサイドフォークリフトフランジ（オプション） \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e(2)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e人間工学的に設計された手動操作用ハンドル（オプション）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eドア\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eFOUPからドアをアンラッチしたとき，FIMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eにドア部をラッチするためのラッチキーホール\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレジストレーションピンホール\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eドアプレゼンスセンシング領域\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e底部\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eボトムクーラーレール（ 4番目のレールと同様に機能するフロントシール領域の底部に付いていたもの，および\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eFOUPのオプションの後方のレールを付けていたもの） \u003cfont size=\"2\"\u003e(4)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eフォークリフトピンホール\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e(2)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eキャリアセンシングパッド\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e(5)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e中央のサポート機構（センターリテイニングフィーチャ）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e前方のサポート機構（フロントライトイニングフィーチャ）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eインフォパッド\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e(4)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eアドバンシング\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eFOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eセンシングパッド\u003cfont size=\"2\"\u003e(2)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eキネマティックカプリングピンと結合し\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e10mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eのリードイン（自動要求心）を確保する機構\u003cfont size=\"2\"\u003e(3)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eキネマティックカプリングピンと結合\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eし15mmのリードイン（自動要求心）を確保する機構（オプション） \u003cfont size=\"2\"\u003e(3)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eフロントカバー表面\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e背面\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRFID \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eタグ設置領域\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E47 — 150 mm\/200 mm ポッド ハンドルの仕様\u003cbr\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様\u003cbr\u003eSEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E47.1-1106 (再承認 0512) - 非アクティブ","offer_id":40234321543235,"sku":"5885","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_9296b17b-c945-44fc-b18d-61f97bc36b2f.png?v=1776702304","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e04701-semi-e47-1-300-mm%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e6%90%ac%e9%80%81%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e4%bf%9d%e7%ae%a1%e7%94%a8foup%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}