SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 -

Abstract

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本標準は、Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は 200 ７年 1 月 18 日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 orgで。初版は1995年発行、前版は2001年3月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本試験方法の目的は、イオン移動度分光計(IMS)（構造材料の試験能力を有している）を用いて、ミニエンバイロメントからの有機汚染を分析する手順を提供することである。

本試験方法は、SEMI E108の代替方法として考えられている。SEMI E108と本書の主な注目点は、SEMI E108が測定技術としてガスクロマトグラフィー／質量分析法と熱脱離との組み合わせに基づく試験方法を規定しているのに対し、本基準は、イオン移動度分析法(IMS)に基づいていることである。 SEMI E108による試験方法と本書による試験方法の結果は、単位が異なる。

ミニエンバイロメントを通過したり、ミニエンバイロメント中に保管されるシリコンウェーハは、構造材料にみる有機汚染によって影響を受ける。この汚染についての知識は、半導体製造においてミニエンバイロメントの使用をする決定上での助けになります。

IMSは、表面の有機汚染を測定する、容易で、広範に使用可能で、ぶれが少ないため感性の高い方法であることから、この汚染の測定法として選ばれている。

さらに、IMSは、プロセスからの汚染の影響のチェック、化学物質のキャリーオーバー、半導体技術に未来のポリマー素材の特性のための可能性を与える。

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E108 —ガスクロマトグラフィー/質量分析法を使用した微小環境からのガス放出有機汚染の評価のための試験方法

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