SEMI E42 - レシピ管理スタンダード：コンセプト、挙動、およびメッセージサービス -

本基準は、Global Information and Control Committeeで技術的に承認されたものでJapanese Information and Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年4月30日にJapanese Regional Standard Committeeにて承認されている2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2004年7月発行に至る。初版は1995年9月発行。前版は2000年2月に出版された。

E本標準出版に関して編集上1999年9月付けで修正が行われ、暫定版では削除されました。修正は1.2項に対して行われました。

このスタンダードはレシピ管理に必要とされるコンセプト，レシピ管理スタンダード（ RMS ）が規定操作するあるいは挙動，および，サービスプロバイダとユーザ暫定インターフェースを介してそのサービスを行うのに使われるメッセージを定義する。

目的

• 一体となってレシピ管理を形成する標準のコンセプト、挙動、およびメッセージサービスの存在を前提に、それらを利用したアプリケーションソフトウェアの開発を可能にすること。
• レシピ管理能力を提供するソフトウエアの開発を可能にすること。

範囲

本基準は，​​システムが半導体製造装置およびシステム内で材料が正しく処理されるようにレシピを転送し， 管理することができるような通信サービスを提供する。 （オブジェクトサービススタンダード（ OSS ）：コンセプト、挙動およびサービス）にも準拠することが要求されている。

この文書にはいくつかの異なる演説関係が書かれている：監視するものと監視されるもの、レシピとそのサブレシピ、レシピクラスとそのサブクラスなど。この標準の意図は、システム構造に厳密なセキュリティ関係を実現するよう要求することではない，漸進的，論理的な交渉関係をサポートすることである。

下位文書:

SEMI E42.1-0704 — レシピ管理スタンダード（ RMS ）のためのSECS-IIプロトコルスタンダード

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 — イベントレポート