SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 -

Abstract

이 표준은 기술적 으로 Global Information & Control Technical Committee 에 의해 승인되었으며 , 해당 버전의 출판은 2011 년 12 월 24 일 Global Audits and Reviews Subcommitええ、 의해 승인되었다 。 1995年 년에 초본이 출판되었고 、 이전 버전은 2011年년 11 월에 출판되었다 。 www.semiviews.orgは、2012 年3 月 3日に公開されました。

장비에 존재하는 재료 프로세싱의 관리와 명령 (コマンド) 을 자동화하는것은 공장 자동화를 가능 하게 하는 중요한 측면으로 , 이 표준에서는 장비내의 재료 프로세싱에 관한 반도체 제조환경 에 필요한 통신을 다룬다 。

대해 적절한 프로세싱의 응용 프로그램 을 명시하고 、재료 프로세싱 (マテリアル処理) 의 개념 、 프로세싱과 관련된 장비의 동작 및 작업 (タスク) 을 수 행하는데 필요한 메시징 서비스 (メッセージングサービス) ) 들을 설명한다 。

여기서 정의하는 통신 서비스는 독립적인 시스템의 표준에 근거하는 상호 운용 을 가능하게 하고 , 이를 통해 개발되는 응용프로그램이 이러한 서비스의 존재를 추측할수 있게하고 소프트 웨어 제품들이 통신서비스를 제공할 수 있도록 개발되게 한다 。

자동 프로세싱 관리의 실행 으로 재료에 대한 오처리 (誤処理) 를 없에고 、 명문화된 표준의 적용 으로 장비 구성요소의 통합에 필요한 노력을 크게 줄여 프로세싱 설정 시간을 감소시킨다 。 준수 해야할 항목은 최소한으로 줄이지만 그 기준은 매우 명확해야만 한다 。

이 표준의 범위는 개별 프로세스 잡 (ジョブの処理) 에 기반한 자동화된 재료 프로세싱이며 、 이는 클러스터 도구 내의 모듈에 대한 프로세싱 관리에 필요한 기능을 제공한다 。 다양한 유형의 장비에 대한 호스트 컨트롤 (コントロール) 뿐만 아니라 、 그외 다른 다중 - 리소스 (マルチリソース) 설 비의 하위 시스템에도 적용된다 。

이 표준은 그룹 내에서 재료의 동일한 처리와 독립적인 그룹들의 병렬 프로세싱에 대한 개별 적인 작업 (仕事) 관리를 지원한다 。 재료가 다른 재료를 담는 경우 ( 웨이퍼를 담는 캐리어와 같은 ), 각각의 재료 유형에 따라 프 로세싱이 명시되어야만 한다 。

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.