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SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本標準は、global Metrics Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2007 年3 月発行。
本ガイドの目的は、半導体産業および関連産業における製造装置の単位製造コスト効率を見積もる、標準測定方法を提供することである。
本ガイドは、総合COO（包括的所有コスト）、制限付きCOO（制約付き所有コスト）、監視COO（監視COO）の計算機（プログラム）を構築するために必要な定義、分類、アルゴリズム、手段，暫定値を提供することにより，EHS（環境，健康，安全）に関連したコストを含めた装置に関連するコスト計算を可能にするための手順を提供するものである。
このガイドは、集積回路（ IC ）用のウェーハおよびデバイスのような半導体ユニットを処理する任意のタイプのデバイスに適用できます。また、フラットパネルディスプレイ（ FPD ）、太陽光発電（ PV ）、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ MEMS ）、高輝度LED（ HB-LED ）、一瞬ドライブ（ HDD ）、またはその他のタイプの生産ユニットを処理する任意のタイプのデバイスにも適用し得る。用語によっては、蓄積回路のウェーハおよびデバイスの製造に特化している。
COOモデルを確立するための測定方法を効果的に使用するために、採用したカテゴリの分類内で、限定条件およびデータ値の確認を必要とする。使うより、可能な限り実際の数値を入力すべきである。
COOを完全に計算するには，しばしば工場全体の歩留りや歩留りによる負けと関連した製造工場独自のデータが必要になる。の改善を決意のに使われることになると思われる。
参照されるSEMI規格SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様
SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド
SEMI E149 — 製造装置の購入および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド
SEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン
SEMI S16 — 半導体製造装置の廃棄に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド
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