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SEMI E32 - 材料搬送管理スタンダード（MMM） -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
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自動材料搬送は半導体製造の自動化の発展に関しては重要な道標である。搬送工程の標準化は材料自動化の経済性のために重要である。 。
目的
－本基準は、半導体工場での自動材料搬送，ついでに，あるプロセス工程や保管場所から他へ，材料および他のものを搬送するという課題について。搬送装置も含めた）装置の挙動，および課題を遂行するために必要とされるメッセージサービスについて述べている。範囲
－本標準の範囲は，2つの観点から定義される。第1は，含まれる機能の範囲であり，第2は含まれる機能の深さである。
下位標準:
SEMI E32.1-0997 - 物質移動の SECS-II サポート
参照されるSEMI規格 SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 のメッセージ内容 (SECS-II) の仕様 SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデルの仕様 (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
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