{"product_id":"e02900-semi-e29-terminology-for-the-calibration-of-mass-flow-controllers-and-mass-flow-meters","title":"E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの校正に関する用語","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e注意:\u003c\/b\u003eこの文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は、マスフローコントローラー (MFC) およびマスフローメーター (MFM) の校正で一般的に使用される用語を定義します。メーカーやユーザーが使用できる世界中の用語を提供することを目的としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は、MFC\/MFM キャリブレーションに関連する用語を定義します。現在、半導体業界では、同じ概念またはデバイスを説明するために複数の単語が使用されることがよくあります。この規格は、混乱を解消し、ユーザーとメーカーが MFC\/MFM キャリブレーションについて話し合うために使用できる共通言語を提供することを目的としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準圧力、温度、密度、および流量単位のガイド\u003cbr\u003eSEMI E18 — マスフローコントローラーの温度仕様ガイド\u003cbr\u003eSEMI E28 — マスフローコントローラーの圧力仕様ガイド\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E29-1223 - Current","offer_id":43106900082755,"sku":"17297","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E29-1110 (Reapproved 0417) - Superseded","offer_id":43106900115523,"sku":"3801","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E29-1110 - 置き換えられました","offer_id":40234253516867,"sku":"7619","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E29-93 (再承認 0710) - 置き換えられました","offer_id":40234253647939,"sku":"7603","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E29-93 (再承認 1104) - 置き換えられました","offer_id":40234253713475,"sku":"7310","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_a53261bf-00db-467b-a580-0cf2528fc414.png?v=1776702839","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e02900-semi-e29-terminology-for-the-calibration-of-mass-flow-controllers-and-mass-flow-meters","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}