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SEMI E29 - マスフロースケート及びマスフローメータの補正のための標準用語 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。 初版は1993年発行。前版は2004 年11 月発行。
本基準は、マスフロースケート及びフローマスメータの補正のために通常使用される用語を定義する。これらの用語はメーカー及びユーザで広く使用されることを目的としている。
参照されるSEMI規格SEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される流量ユニットの標準圧力および標準温度に関する規格
SEMI E18 — マスフローコントローラーの温度仕様に関するガイドライン
SEMI E28 — マスフローコントローラーの圧力仕様に関するガイドライン
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