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SEMI E27 - マスフロースケートおよびマスフローメータの直線性のガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1992年発行。前版は、 2004年11月発行。
このガイドラインの目的は、マスフロー装置の製造者とユーザーの間の紛争および不快を防ぐために、統一された、世界中で通用する直線性の定義を確立することである。 ，マスフォープロセッサ(MFC)の出力側のレベルが既知である点以外の不明確な出力側の既知レベルに対する予測を行うのに使用される。
参照されるSEMI規格なし。
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