{"product_id":"e02600-semi-e26-radial-cluster-tool-footprint-standard","title":"E02600 - SEMI E26 - ラジアル クラスター ツール フットプリント標準","description":"\u003cp\u003eこの規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されており、北米物理インターフェイスおよびキャリア委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 8 月 16 日に北米地域標準委員会によって再承認されました。最初は 2004 年 9 月に www.semi.org で入手可能になりました。 2004 年 11 月に出版予定。初版は 1992 年。最後に発行されたのは 1999 年 6 月です。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e注意: この文書は 2004 年に投票され、撤回が承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eこの規格の目的は、さまざまなサプライヤーのモジュールを確実にラジアル クラスター ツールに統合できるようにすることです。これは、放射状クラスタ ツール内の隣接するモジュール間の物理的干渉が回避され、クラスタ ツールのすべてのモジュールへのアクセスが保証されるように、機器メーカーに設計仕様を提供します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e下位文書:\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e SEMI E26.1-92 (廃止 1104) - ラジアル クラスター ツール フットプリント 300 mm 標準\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003eSEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格\u003cbr\u003eSEMI E22 — クラスターツールモジュールインターフェース: トランスポートモジュールエンドエフェクター除外ボリューム標準\u003cbr\u003eSEMI E25 — クラスタツールモジュールインターフェース: モジュールアクセスガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E26-92 (撤回 1104) - 撤回","offer_id":40234343235651,"sku":"8156","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_bc76984c-f128-4cdc-a554-1df5268531de.png?v=1776702125","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e02600-semi-e26-radial-cluster-tool-footprint-standard","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}