{"product_id":"e02400-semi-e24-クラスタツール-モジュール-インタフェース-隔離バルブインタロックのスタンダード","title":"E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックの標準","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; MARGIN: 0pt 21pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本基準は、Global Physical Interfaces \u0026amp; \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eCarriers \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eCommittee \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで技術的に承認されています。現版は2010年4 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月30\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e日、Global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e.org \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e1992年発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e7 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; MARGIN: 0pt 21pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan\u003e注意： \u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2010 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年、投票により本書の改訂が承認されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本基準の目的は、材料というか装置に、危険な状態損傷という可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を、防止することにある。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003ci\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e影響\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e－本基準は，​​クラスタツールモジュール供給ヤに，インタロックを備えること，およびインタロックが旅行する状態を定義することを求めている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E24-92 (撤回 0710) - 撤回","offer_id":40234351919171,"sku":"8154","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_227cc008-a74a-42b9-a576-42ea31fb722a.png?v=1776702128","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e02400-semi-e24-%e3%82%af%e3%83%a9%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%84%e3%83%bc%e3%83%ab-%e3%83%a2%e3%82%b8%e3%83%a5%e3%83%bc%e3%83%ab-%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%95%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%82%b9-%e9%9a%94%e9%9b%a2%e3%83%90%e3%83%ab%e3%83%96%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%ad%e3%83%83%e3%82%af%e3%81%ae%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%b3%e3%83%80%e3%83%bc%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}