{"product_id":"e02000-semi-e20-cluster-tool-module-interface-electrical-power-and-emergency-off-standard","title":"E02000 - SEMI E20 - クラスターツールモジュールインターフェース: 電力および緊急オフ標準","description":"\u003cp\u003eこの規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。最初は 2010 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1991 年に発行されました。以前は 2002 年 11 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eこの規格の目的は、クラスタ ツールのモジュールに緊急オフ機能を指定することです。ツールの残りの部分の電源を切断せずに、モジュール緊急オフを安全な方法で切断および再接続できるようにします。また、緊急オフが機能していないときにモジュールに電力が供給されるのを防ぎます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E20-0697 (撤回 1110) - 撤回","offer_id":40234350575683,"sku":"8152","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E20-0697 (再承認 1102) - 置き換えられました","offer_id":40234350608451,"sku":"8153","price":24800.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_9cf13788-17d3-4754-9bfb-20fce427a0a8.png?v=1776702129","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e02000-semi-e20-cluster-tool-module-interface-electrical-power-and-emergency-off-standard","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}