{"product_id":"e01905-semi-e19-5-specification-for-300-mm-bottom-opening-standard-mechanical-interface-smif","title":"E01905 - SEMI E19.5 - 300 mm 底面開口部標準メカニカル インターフェイス (SMIF) の仕様","description":"\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e注: SEMI E19.5 は、SEMI E19 規格ファミリー内では公開されなくなりました。こちらのページで別途掲載・販売しております。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e注意: この文書は 2003 年に投票され、撤回が承認されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eこの規格は、収容されているウェーハの輸送環境を制御することを目的としたコンテナの標準インターフェイスを指定します。インターフェースは、粒子状および非粒子状の汚染を制御するために、材料移送のための容器の適切な方向に対応し、容器と装置環境の間の連続性を維持する必要があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの暫定仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E19.5-0996 (撤回 1103) - 撤回","offer_id":40234343759939,"sku":"8151","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_e7d9917b-8188-4cbf-8568-edf1f6984061.png?v=1776702132","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e01905-semi-e19-5-specification-for-300-mm-bottom-opening-standard-mechanical-interface-smif","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}