{"product_id":"e01700-semi-e17-guide-for-mass-flow-controller-transient-characteristics-tests","title":"E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラー過渡特性テストガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの規格の目的は、テスト方法を提供することです。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eマスフローコントローラー(MFC)の過渡特性測定用。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの規格は、以下の共通の基礎を確立することを目的としています。\u003c\/span\u003e \n半導体装置のユーザーとサプライヤー間のコミュニケーション。それ\nに関する混乱を避けることを目的とした用語と方法論を提供します。\nこれまでは MFC の「応答時間」と呼ばれていました。条件と\n過渡現象を決定し表現するための手順が与えられています。\n設定値のステップ変化に対する MFC の特性。この規格が適用される\n半導体製造装置で使用されるガスのマスフローコントローラーまで。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e(別途購入してください)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eなし。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e改訂履歴\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E17-0318 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E17-1011 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E17-0600 (再承認0307)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E17-0600 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E17-91 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E17-0318 - 現在","offer_id":40234269540419,"sku":"3787","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E17-1011 - 置き換えられました","offer_id":40234269573187,"sku":"7660","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E17-0600 (再承認 0307) - 置き換えられました","offer_id":40234269605955,"sku":"7294","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E17-0600 - 置き換えられました","offer_id":40234269638723,"sku":"7293","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E17-91 - 置き換えられました","offer_id":40234269671491,"sku":"7295","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_a401ed9d-e97a-41cb-9bcc-74b87e4ee2ca.png?v=1776702849","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e01700-semi-e17-guide-for-mass-flow-controller-transient-characteristics-tests","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}