{"product_id":"e01600-semi-e16-guide-for-determining-and-describing-mass-flow-controller-leak-rates","title":"E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラーのリーク率の決定と記述に関するガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこのガイドの目的は、制服を確立することです。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e質量流量の漏れ率を記述および測定するための世界的な手段\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eコントローラー (MFC)。ガス供給システムの漏れの完全性は重要です。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e製品の品質と性能を維持します。このガイドは、次のことを防ぐことを目的としています。\u003c\/span\u003e \nメーカーとユーザーの間の混乱と誤解。特に、\n機械的リーク率と拡散リーク率を区別します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこのガイドには、用語の定義と手順が含まれています。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体業界で使用される MFC のリーク率の決定。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e(別途購入してください)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eなし。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e改訂履歴\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E16-0517 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E16-0611 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E16-90 (再承認 1104)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E16-90 (再承認 0699)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E16-90 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E16-0624 - Current","offer_id":43106900770883,"sku":"17794","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E16-0224 - Superseded","offer_id":43106900803651,"sku":"17398","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E16-0517 - Superseded","offer_id":43106900836419,"sku":"3776","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E16-0611 - 置き換えられました","offer_id":40234263576643,"sku":"7656","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E16-90 (再承認 1104) - 置き換えられました","offer_id":40234263674947,"sku":"7292","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_af6c60af-d239-4da1-940e-c536aa54af6a.png?v=1776702857","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e01600-semi-e16-guide-for-determining-and-describing-mass-flow-controller-leak-rates","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}