{"product_id":"e01400-semi-e14-measurement-of-particle-contamination-contributed-to-the-product-from-the-process-or-support-tool","title":"E01400 - SEMI E14 - プロセスまたはサポートツールから製品に寄与する粒子汚染の測定","description":"\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e注意: この文書は、2003 年に SEMI® 規格を管理する規則に従って廃止されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eこの文書の目的は、特定のプロセスまたはツールの汚染パフォーマンスを、そのプロセスを通過した結果としてシリコンウェーハに追加される粒子の数とサイズ分布に関して測定するための標準化された方法論と詳細な手順を提供することです。道具。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M10 — ガリウムヒ素ウェーハの構造と特徴を識別するための標準命名法\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E14-93 (撤回 0303) - 撤回","offer_id":40234339205187,"sku":"8123","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_2cc7cd01-153e-4837-a524-da5d2d0ed6c7.png?v=1776702142","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e01400-semi-e14-measurement-of-particle-contamination-contributed-to-the-product-from-the-process-or-support-tool","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}