{"product_id":"e01000-semi-e10-半導体製造装置の信頼性-有用性-整備性ram-利用性の定義と測定のための仕様","title":"E01000 - SEMI E10 - 半導体製造装置全体性、有用性、整備性（RAM）、利用性の定義と測定のための仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e注意：\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e本書は、 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e2011年に全面的に書き換えられました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e本書では、製造環境において半導体製造装置の許容性、有用性、整備性（ RAM ）、利用性の性能を測定する標準化された方法を提供して、装置のユーザと供給ヤの間の意見の交換に共通の基盤を確立している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e本書では、あらゆる装置状況および時間が必ずどこかに類別される6つの全般にわたって相容れない唯一の基本的な装置状態を定義している。本仕様での装置信頼性の測定は、装置の収益動に対する装置の故障の関係に焦点を当てている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eここで定義される全ての測定基準は，ノンクラスタツール，シングルパスクラスタツール（ SPCT ），パスクラスタツール（ MPCT ）内の装置モジュール，装置モジュールの所期のプロセスセット\u003cfont size=\"2\"\u003e(IPSs)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよびマルチパスクラスター\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eツール（ MPCT ）を含むデバイスシステムに適用可能である。本書は、\u003cfont size=\"2\"\u003eデバイスモジュールレベルの性能の関数としてIPSの性能を初めて定義することにより、MPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eのための\u003cfont size=\"2\"\u003eRAM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e測定を完了する方法を定義している\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e提案している測定基準ごとに、 \u003cfont size=\"2\"\u003eIPS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\"\u003eMPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eに必要な特別な取り扱いをすべて定義している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本書は、次の基本的な測定基準を定義する\u003cfont size=\"2\"\u003e:\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e信頼性（ \u003cfont size=\"2\"\u003eReliability \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e—\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e故障の間の平均時間\u003cfont size=\"2\"\u003e(MTTF:\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e平均故障時間\u003cfont size=\"2\"\u003e)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよび故障の間の平均サイクルを含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e有用性（ \u003cfont size=\"2\"\u003eAvailability \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e—合計のアップタイム、運転のアップタイム、装置依存のアップタイム、および補充ヤ依存のアップタイムを含みます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e整備性（ \u003cfont size=\"2\"\u003eMaintainability \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e—修理のための平均時間(MTTR:​​Average Repair time)、予備保守（実施）の平均時間、オフラインの平均時間、総故障率および減少率を含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e利用性（ \u003cfont size=\"2\"\u003eUtilization \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e—\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e合計の利用性および運転の利用性を含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e本書に含まれる関連資料では、MTBF不確実性の測定および信頼性の向上と低下の測定のコンセプトを取り上げている。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E116 — 機器性能追跡の仕様\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E10-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234344841283,"sku":"8074","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E10-0304E - 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