SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド -

Abstract

このガイドは、Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので、North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は2002 年11月22 日にNorth American Regional Standards Committee にて承認されている2003年1月にまずwww.semi.org で入手可能となり、2003年3 月発行に至る。初版は1982年発行、前版は1996 年12 月発行。

注意: 本書は2002 年、投票によりSEMI E6 の全面改訂として承認されました。

半導体産業では装置（半導体製造装置）が多様かつ複雑になっているため、設備（工場ユーティリティ設備）を設計し、装置を設置する人たちにとって重要な問題が生まれている。を準備し、半導体製造装置を効率的に設置するために必要な情報を装置供給ヤ及び半導体製造業者が標準的な方法で交換しあうことによって、お互いの利益につながるはずである。

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E52 — デジタルマスフローコントローラーで使用されるガスを参照するための実践
SEMI E63 — ツール標準 (BOLT) に対する 300 mm ボックス オープナー/ローダーの機械仕様

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