SEMI E4 - 半導体製造装置通信標準1 メッセージトランスファ（SECS-I） -

Abstract

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SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

注意：本書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

改訂の記録－本書は、1980 年に公開された SECS-I 初版の改訂版である。初版 SECS-I からの大幅な変更は少なく、いくつかの重要な事項が追加されている。また、この基準は、（社）日本電子振興協会のシリコン12委員会の協力のもとに作成されました。

目的－ SECS-I に準拠し、設計者が通信する相手について詳細を知らなくても、相互の通信を可能とする装置およびホストを設計することができる。

SECS-Iは、半導体製造装置とホスト間のメッセージ交換に関する通信インターフェースを定義している。 ，コンピュータまたはコンピュータのネットワークであり，デバイスと情報を交換する。 SECS-I は，従来なポイントツーポイントの通信を規定し，ホストとデバイス間のメッセージ交換に必要なコネクタ，信号レベル，データレート， SECS -Iは、メッセージ内のデータについては定義されていません。メッセージの内容は、SEMI E5、SEMI機器通信標準2メッセージ内容（半導体製造装置通信標準2メッセージ内容） ） (SECS-II)などに合わせて決めない。

契約プロトコル－ SECS-Iプロトコルは、ポイントツーポイント方式の通信を使用した契約プロトコルである。参照）。

スピード－ SECS-Iはあらゆる通信に適用できるとは考えていない。 例えば、高速ファンクション・テストに要求されるような、想定される量のデータまたはプログラムを短時間に転送するのにはSECS-Iで採用しているRS-232-Cのスピードではない。

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