SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様 -

Abstract

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本仕様は、 3 インチ、 100 mm 、 125 mm 、 150 mmウェーハを加工処理する際に使用するプラスチックおよび金属ウェーハキャリアの寸法上の要求事項を示します。 ウェーハキャリアについて，仕様ではないが，関連情報を含みます。

本仕様には，一般用と自動搬送用の２種類があります。

一般用は3 インチ、 100mm 、 125mm 、 150mm のウェーハを扱う基本ガイドラインである。

自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。

200mm ウェーハサイズ（要求事項ではないが、過去の課題）についての関連情報もいくつか含みます。

本仕様を満たすためには，キャリアは規定の寸法内で製造しなければならない，製造者の指定条件を使用する以下では，本仕様の範囲内で寸法的に安定していなければならない。

参照されたSEMI規格（別途購入）

なし。

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