
SEMI D25 - FPDガラス基板輸送用梱包ケースの仕様 -
Abstract
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本基準は、
フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会で技術的に承認されています。現版は 2006 年5月16日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 orgで。初版は2000年6月発行。E
本スタンダードは2003年10月に編集上の修正がなされた。 §§§3.2.2, 6.2.8.1, 6.2.9.1, A3-1 (図)に変更が加えられた。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
本書は、第
4世代と呼ばれるFPD用ガラス基板( 800 × 950 × 0.7 mmまたは800 × 950 × 0.7 mm )の輸送梱包の仕様およびガイドを定めます。本書は、梱包に求められる最低限の品質と自動化へ要求を確保した上で、梱包資材、保管、輸送の視点でコスト削減に配慮した梱包仕様を提供することを最大の目的とする。
文書で定める輸送梱包仕様は、第
4世代と呼ばれるFPD用ガラス基板を、ガラス基板を製造するベンダーからそのユーザーへ輸送するための完全ボックス型の梱包ケースに適用する。本梱包仕様で梱包・輸送される
FPDガラス基板は、下記の4項目に限定される。アレイ基板に用いられるガラス基板のうち,まだ,成膜が施されていないベアーガラス基板
対向基板やカラーフィルタ基板に用いられるガラス基板のうち、まだ、成膜が施されていないベアーガラス基板
アレイ基板に用いられるガラス基板のうち、全面に一様の成膜が施されているガラス基板
カラーフィルタ基板や対向基板に用いられるガラス基板のうち、全面に一様の成膜が施されているガラス基板
参照されるSEMI規格SEMI D9 — FPD基板の用語
SEMI D11 — フラットパネルディスプレイガラス基板カセットの仕様
SEMI D24 — フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板の仕様
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