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SEMI D24 - FPD用ガラス基板の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：
このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は利用者各位の便宜のためにしたものです。は英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、
フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会で技術的に承認されています。現版は 2006 年5月16日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 orgで。初版は2000年2月発行。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
本標準は，フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板の特有の幾何学的要求事項を規定する。
本基準は，フラットパネルディスプレイ製品の再生産性およびすべてのベンダーが出荷するガラス基板の均一性を確保するために，ガラス基板に関する一定レベルの仕様を統一することを目的とする。 ，搬送装置およびカセット，製造装置内部のすべての機械的インタフェースの互換性も確保される。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D4 — フラットパネルディスプレイ基板の参照方法
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D6 — 液晶ディスプレイ (LCD) マスク基板の仕様
SEMI D7 — FPDガラス基板の表面粗さ測定方法
SEMI D9 — FPD基板の用語
SEMI D12 — フラット パネル ディスプレイ (FPD) 基板のエッジ状態の仕様
SEMI D15 — FPDガラス基板表面のうねり測定方法
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