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SEMI D18 - FPD基板水平搬送用および保管用カセット仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、
フラットパネルディスプレイ装置委員会で技術的に承認されたもので、北米フラットパネルディスプレイ委員会が直接責任を負うものである。現版は、1998年8月15日に北米地域規格委員会に承認されている1998年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 1999年2月発行に至る。E
本書は2000年10月にフォーマットエラーのため編集上の修正が行われており、図5が変更となっている。本仕様は、
FPD製造装置で0.7mm ～ 1.1mm厚のガラス基板の水平搬送や保管に使用するカセットについて規定する。本標準は、適切な仕様レベルを設定することを目的として、すべてのメカニカルインタフェースに関してモジュール化と互換性を確保しつつ、技術革新への制限を極力しようとするものである。 ，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現してカセットのメカニカルインターフェースだけが規定されている。ちなみに、材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限は規定されていない。て製造されるようにまとめている。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D6 — フラット パネル ディスプレイ マスク基板の標準エッジ長さと厚さ
SEMI D9 — フラットパネルディスプレイの定義
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