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SEMI D17 - FPDガラス基板搬送用カセットの機械的仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、グローバルフラットパネルディスプレイ – 機器委員会で技術的に承認されたもので、北米フラットパネルディスプレイ委員会が直接責任を負うものである。現版は1999年12月15日北米地域規格委員会にて承認された。 2000年1月にまずSEMI On Lineで入手可能となり、2000年2月発行に続く。初版は1998年9月発行。
本仕様は、FPDとしての処理をした基板を、その工程からディスプレイメーカーへ、またはプロセスを考慮してユーザ間で輸送のするために使用するカセットについて要求条件を選択して規定する。
本書は、SEMI D18「フラットパネルディスプレイ基板の水平転送と折り畳みに使用されるカセットの仕様」から関連寸法するデータを取り入れている。
本基準は、クリーンなガラス基板とプロセスを実施した基板を、基板の完全性を無視せずに組織間輸送に使用する再利用可能なカセットの仕様レベル合わせを目的とする。必要性を最低限に適切な仕様レベルの設定をするものであり、同時に、搬送、自動カセット操作モード、同様なロボット要素で基板が扱いやすいこと、との間の共通のメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を警戒するものである。
この基準はその使用に関連したすべての安全上の問題を遂行することを意図していない。法や規制その他の制限への適用性を判断するものである。
参照されるSEMI規格SEMI D18 — フラットパネルディスプレイ基板の水平輸送および保管に使用されるカセットの仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
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