{"product_id":"d01600-semi-d16-fpdマテリアルハンドリングシステムとツールポート間の機械的インタフェース仕様","title":"D01600 - SEMI D16 - FPDマテリアルハンドリングシステムとツールポート間の機械的なインターフェース仕様","description":"\u003cp align=\"justify\"\u003e本仕様は、 \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eフラットパネルディスプレイ装置委員会\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されたもので、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e北米フラットパネルディスプレイ委員会\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は1998年7月に\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e北米\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e地域\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e規格\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e委員\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e会\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eにて\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e承認された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月にまず\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI On Line\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となり、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1998\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e9\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行に至る。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e本仕様は\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eFPD\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト削減に配慮したインターフェースを奨励することを目的とする。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\"\u003eこれらの標準は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面にある表面の特徴についても規定する。このインターフェース要求事項は普及的なものであり、ある特定の搬送方式を奨励することを避けている。 \u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eWIP\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e搬送のインターフェース、あるいは、AGVのよう\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eな\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e個別設計ビークルとのインターフェース、に有効である。 この標準に採用した寸法は、カセット搬送と同様、枚葉の場合にも適用する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI D11 — フラットパネルディスプレイガラス基板カセットの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI D16-0998 - 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