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SEMI D11 - FPD用ガラス基板の耐薬品性試験方法 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：
このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は利用者各位の便宜のためにしたものです。は英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、
フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会で技術的に承認されています。現版は 2009 年5月13日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 orgで。初版は1995年発行、前版は2003年7月に発行された。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
本書は
FPD用サブ話のうちマスクの製造および加工に際し、ガラス基板とともに使用されるカセットについて優しいものである。本書は付録の
FPDガラス基板をある枚数収納するカセットに適用される。選択された用語、定義通りの概略仕様が含まれている。 参照されるSEMI規格SEMI D3 — FPD基板の品質領域
SEMI D5 — FPD基板の標準サイズ
SEMI D6 — フラットパネルディスプレイマスク基板の標準サイズと厚さ
SEMI D9 — FPD基板の用語
SEMI D21 — フラットパネルディスプレイマスクの定義
SEMI E1 — 3、100 mm、125 mm、および 150 mm のプラスチックおよび金属ウェーハキャリアの仕様
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