
SEMI D10 - FPD用ガラス基板の耐薬品性試験方法 -
Abstract
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本テスト方法は、
フラットパネルディスプレイグローバル技術委員会で技術的に承認されたもので、日本FPD材料部品委員会が直接責任を負うものである。現版は、 2003年4月28日日本地域標準委員会にて承認されている2003年7月にまずwww.semi.orgで入手可能となりました。初版は1995年発行。
本テスト方法はフラットパネルディスプレイ(
フラットパネルディスプレイ)( FPD )用ガラス基板を、 FPD製造工程で使用されている試薬を用いて定量評価する。本基準は、
FPD用ガラス基板のベンダーおよびあるいは購入者に使用される。本スタンダードは数種類の
FPD用ガラス基板の耐薬品性試験のための3つの方法を定義する。A : 重量変化法
B :形状測定を用いた段差法
C :表面ヘイズ法
それぞれの方法は,管理された連続化学反応中に基板より除去された材料の合計の量を,提供する。
参照されるSEMI規格SEMI D5 — FPD ディスプレイ基板の標準サイズ
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D01000 - SEMI D10 - FPD用ガラス基板の耐薬品性試験方法
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