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SEMI D9 - FPD基板の用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本用語集は、FPD Materials and Components Committeeで技術的に承認されたもので、Japanese FPD Materials and Components Committeeが直接責任を負うものである。現版は2003年1月10日に日本の地域規格委員会にて承認されている。 2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2003年3月発行に至る。初版は1994年発行、前版は2001年11月発行。
本書は、FPD基板の内部および表面上の物質や欠陥の用語と定義し、それぞれ寸法特性・熱特性・化学特性・光学特性・機械特性を提供する。
本用語集と定義は、 FPD製造に使用されるフロント基板とバック基板に適用される。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — FPD基板の品質領域仕様 SEMI D5 — FPD基板の標準サイズ SEMI D7 — FPDガラス基板の表面粗さ測定方法 SEMI D11 — FPDガラス基板カセットの仕様 SEMI D12 — FPD基板のエッジ条件の仕様 SEMI D15 — FPDガラス基板表面のうねり測定方法 SEMI D24 — フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板の仕様
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