{"product_id":"c08100-semi-c81-guide-for-trisdimethylamino-silane-3dmas","title":"C08100 - SEMI C81 - トリス(ジメチルアミノ) シラン (3DMAS) のガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2013 年 1 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、必要性が確認されているトリス(ジメチルアミノ) シラン (3DMAS) のガイドを提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積による酸化シリコン、窒化シリコンベースの層の堆積に使用される高純度 3DMAS をカバーします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C81-0113 (Reapproved 0618) - Inactive","offer_id":43106908864579,"sku":"2184","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C81-0113 - 置き換えられました","offer_id":40234240802883,"sku":"11960","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_e50bd1c6-d9e8-4030-b206-cf589d6950a5.png?v=1776703064","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c08100-semi-c81-guide-for-trisdimethylamino-silane-3dmas","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}