C07700 - SEMI C77 - 最小可測粒径が30nmから100nmの範囲にある液体中粒子クルカウンタの計数効率を求める試験方法

SEMI C77 - 最小可測粒径が30nmから100nmの範囲にある液体中粒子クルカウンタの計数効率を求める試験方法 -

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Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C77-0912 - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

本基準は、global Liquid Chemicals Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。

この文書は、最小測定粒径が30nmから100nmの範囲にある液体中粒子クルカウンタの計数効率を求めるための試験手順を提供する。

この文書は、粒子個数濃度が定量された試験粒子懸濁液を試料に用いた、液中粒子クルカウンタの計数効率試験の試験システムを対象とする。

この文書では、液中粒子クルカウンタの計数効率試験の条件を定義する。

以下の内容をこの文書の対象範囲とする。

  • ポリスチレンラテックス(PSL) 粒子懸濁液の原液の質量濃度

  • 流体、流量、圧力、体積、 PSL 粒子個数濃度など、吸率を求める要素、条件

  • 被試験器(EUT) である液体中粒子クルカウンタの種類( 形式)

  • PSL 粒子の種類( 形式)

  • 試験記録簿記載内容

参照されるSEMI規格

SEMI F63 — 半導体プロセスで使用される超純水のガイド
SEMI F104 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの評価のための粒子試験方法ガイドライン

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