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SEMI C71 - 三塩化ホウ素（BCI3）の仕様およびガイド -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となります。
本書の目的は、半導体産業で使用される三塩化ホウ素(BCl 3 )の仕様およびガイドを提供することである。
参照されるSEMI規格SEMI C3 — ガスの仕様
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