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SEMI C70 - 六フッ化タングステン（WF6）の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となります。
本書の目的は、半導体産業で使用される六フッ化タングステン( WF6 )の仕様を提供するものである。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C3 — ガスの仕様
SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
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