{"product_id":"c06800-semi-c68-guide-for-zirconium-amides","title":"C06800 - SEMI C68 - ジルコニウムアミドのガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 8 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003eこの文書の目的は、必要性が確認されているジルコニウムアミドに関するガイドを提供することです。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003eこの文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積法による酸化ジルコニウムベースの層の堆積に使用される高純度ジルコニウムアミド、すなわちテトラキス(ジメチルアミノ)ジルコニウム、テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム、およびテトラキス(エチルメチルアミノ)ジルコニウムを対象としています。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\" style=\"FONT-FAMILY:\" arial mso-ansi-language: en-gb\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C68-0811 (再承認 0317) - 現在","offer_id":40234239918147,"sku":"2170","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C68-0811 - 置き換えられました","offer_id":40234240245827,"sku":"11944","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_72284494-8be6-499a-a058-c1545e724cdf.png?v=1776703074","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c06800-semi-c68-guide-for-zirconium-amides","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}