{"product_id":"c06600-semi-c66-guide-for-trimethylaluminium-tmai-99-5-quality","title":"C06600 - SEMI C66 - トリメチルアルミニウム (TMAI) のガイド、99.5% 品質","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2008 年 2 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、半導体産業で使用されるトリメチルアルミニウム (TMAl) に関するガイドを提供することです。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲は、半導体産業で蒸着技術によるアルミニウム金属の堆積や原子層堆積による酸化アルミニウムベースの層に使用される高純度 TMAl の層をカバーします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C66-0317 - Inactive","offer_id":43106909716547,"sku":"2168","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C66-0308 - 置き換えられました","offer_id":40234235920451,"sku":"11942","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_d2adb27b-df2a-42a0-ae25-11c6df0a5ab6.png?v=1776703075","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c06600-semi-c66-guide-for-trimethylaluminium-tmai-99-5-quality","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}