{"product_id":"c06500-semi-c65-guide-for-trimethylsilane-3ms-99-995-quality","title":"C06500 - SEMI C65 - トリメチルシラン (3MS)、99.995% 品質のガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2008 年 2 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、半導体産業で使用されるトリメチルシラン (3MS) のガイドを提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、半導体業界で低誘電率誘電体、SiC エッチ ストップ、ハード マスク、銅拡散バリア前駆体としてプラズマ化学蒸着 (PECVD) に使用される 3MS のガイドについて説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C65-0317 - Inactive","offer_id":43106909749315,"sku":"2167","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C65-0308 - 置き換えられました","offer_id":40234229334083,"sku":"11941","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_e1aba5e9-6ef7-40ee-890c-859656bb7e85.png?v=1776703076","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c06500-semi-c65-guide-for-trimethylsilane-3ms-99-995-quality","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}