{"product_id":"c06300-semi-c63-specification-for-organosilicate-precursors-used-in-low-k-cvd-processes","title":"C06300 - SEMI C63 - Low K CVDプロセスで使用されるオルガノシリケート前駆体の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2007 年 11 月。以前は 2008 年 11 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、Low K CVD プロセスで使用されるオルガノシリケート前駆体に関するガイドラインを提供し、それらの要件をサポートするためのテスト手順を標準化することです。これらのテスト方法は、統計的に有効な結果が得られることが示されています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲には、半導体産業で使用されるオルガノシリケート前駆体 (例、ジメチルジメトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、ジエトキシメチルシラン、テトラメチルシクロテトラシロキサン) について提案されている不純物制限がリストされています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C63-1108 (再承認 0618) - 現在","offer_id":40234237657155,"sku":"2164","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C63-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234237820995,"sku":"11938","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C63-1107 - 置き換えられました","offer_id":40234237952067,"sku":"11937","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_76044433-d6f6-47fa-b10c-4d35d271a9d0.png?v=1776703077","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c06300-semi-c63-specification-for-organosilicate-precursors-used-in-low-k-cvd-processes","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}