{"product_id":"c06200-semi-c62-specification-for-progen-precursors-used-in-low-k-cvd-processes","title":"C06200 - SEMI C62 - Low K CVD プロセスで使用される前世代前駆体の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2007 年 11 月。以前は 2009 年 3 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、必要性が確認されている Low K CVD プロセスで使用されるポロゲン前駆体の仕様を提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲には、半導体産業で使用されるポロゲン前駆体 (アルファテルピニン、リモネン、ビシクロヘプタジエン、シクロオクタンなど) について提案されている不純物制限がリストされています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C62-0309 (再承認 0618) - 現在","offer_id":40234239066179,"sku":"2163","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C62-0309 - 置き換えられました","offer_id":40234239262787,"sku":"11935","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C62-1107 - 置き換えられました","offer_id":40234239426627,"sku":"11936","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_702fabab-9a87-4753-a381-1f14cdbc6eea.png?v=1776703078","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c06200-semi-c62-specification-for-progen-precursors-used-in-low-k-cvd-processes","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}