Japan Store![C05300 - SEMI C53 - ジメチルスルホキシド（DMSO）[グレード1および2]の仕様](http://store-dev2.semi.org/cdn/shop/files/CVolume_pc_4395da24-0595-4ec0-858e-66c37ad8424b.png?v=1776703084&width=2049)
SEMI C53 - ジメチルスルホキシド（DMSO）[グレード1および2]の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
注意：本書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるメチルジスルホキシドに対する要求事項を標準化する、また、要求事項に対して監視するためのテスト手順を標準化することである。結果を表すことが明らかとなっている。
本書の範囲は半導体産業で使用する全グレードのDMSOである。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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