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SEMI C45 - テトラエトキシシラン (TEOS) ガイドラインと仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、Process Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日、global Audits and Review Subcommitteeにて発行が承認された。 orgで。初版は1999年6月発行、前版は2001年3月に発行された。
本書の目的は，半導体産業で使用されるテトラエトキシシランに対する要求条件を標準化する，またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。いる。
本書の範囲は半導体産業で使用されるテトラエトキシシランの全てのグレードである。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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