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SEMI C29 - 4.9%フッ化ケイジン酸（10:1 V/V）の仕様とガイドライン -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様とガイドラインは、Global Process Chemicals Committeeで技術的に承認されたもので、North American Process Chemicals Committeeが直接責任を負うものである。 て承認された。 2001年2月にまずwww.semi.org で入手可能となり、2001年3月発行に至る。本書は、 SEMI C7.4 、 C8.4 、 C12.3を全面改訂したものであり、初版は1990年、 1992年、1995年にそれぞれ発行、前版は1999年6月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される4.9%フッ化ケイ素酸に対する要求条件を標準化する、またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。 結果を示している。本書は、4.9%フッ化ケイ素酸（ 10:1 V/V ）に対して要求が認められたグレードのガイドラインも示している。ガイドラインの場合は、試験方法は統計的に有効ない場合がある。
本書の範囲は半導体産業で使用される4.9%フッ化ケイ素酸の全てのグレードである。
この基準の使用者は、その責任において、適切な安全及び健康上の作業方法を確立し、また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。
参照されるSEMI規格SEMI C28 — フッ化水素酸の仕様とガイドライン
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