{"product_id":"c02600-semi-c26-specification-and-guide-for-hexamethyldisilazane-hmds","title":"C02600 - SEMI C26 - ヘキサメチルジシラザン (HMDS) の仕様およびガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 8 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1983 年に出版されました。以前は 2006 年 3 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、半導体産業で使用されるヘキサメチルジシラザンの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証に関する SEMI C1 ガイドラインに準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。この文書は、必要性が確認されているヘキサメチルジシラザンのグレードに関するガイドも提供します。ガイドの場合、テスト方法はまだ統計的に検証されていない可能性があります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲は、半導体産業で使用されるヘキサメチルジシラザンのグレードを対象としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C26-0912 - 非アクティブ","offer_id":40234245193795,"sku":"2308","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C26-0306 - 置き換えられました","offer_id":40234245259331,"sku":"11755","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C26-0699E - 置き換えられました","offer_id":40234245324867,"sku":"11756","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_pc_ad30524d-80e5-42be-ae00-c93e3c4a9a95.png?v=1776703051","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c02600-semi-c26-specification-and-guide-for-hexamethyldisilazane-hmds","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}