{"product_id":"c00602-semi-c6-2-particle-specification-for-grade-20-0-02-oxygen-delivered-as-pipeline-gas","title":"C00602 - SEMI C6.2 - パイプラインガスとして供給されるグレード 20\/0.02 酸素の粒子仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1993 年に出版されました。以前は 2002 年 11 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: この文書はグローバル技術委員会によるサポートを終了しました。 SEMI C97 に置き換えられました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、(1) 20\/0.02 グレードの酸素バルク供給ガスの最大許容粒子濃度を設定すること、および (2) その検証のための参考方法を説明することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、パイプラインを通じて配送される酸素ガスにのみ適用されます。ボンベガスや液体状態の酸素ガスには適用できません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C6.2-93 (再承認 1111) - 置き換え","offer_id":40234242867267,"sku":"2734","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C6.2-93 (再承認 1102) - 置き換えられました","offer_id":40234242932803,"sku":"11926","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_b8d7c85c-aa3f-4680-ad26-7abfc4e4cbf4.png?v=1776703031","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c00602-semi-c6-2-particle-specification-for-grade-20-0-02-oxygen-delivered-as-pipeline-gas","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}