C00357 - SEMI C3.57 - 内部電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様

SEMI C3.57 - 内部電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様 -

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Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Gases
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C3.57-0312 - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

本基準は、global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行。

本書の目的は、半導体製造産業にて使用される、二酸化炭素(CO 2 )の仕様を提供することである。

本書は、半導体製造産業にて使用される、二酸化炭素(CO 2 ) の要件をカバーするものである。

参照されるSEMI規格

なし。

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