{"product_id":"c00356-semi-c3-56-specification-for-diborane-mixtures","title":"C00356 - SEMI C3.56 - ジボラン混合物の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2012 年 3 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eジボラン混合物の仕様と分析方法を定義し、仕様を検証します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eジボランは純粋なガスとしてではなく、N \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e 、H \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e 、Ar、He、または SiH \u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eのバランスガスとの混合物として使用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e混合物の品質は、次のような多くの要因の影響を受けます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e・混合物の調製に使用されるガスの純度。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • 部品の充填精度。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e • シリンダーの準備プロセスとジボランとシリンダーの内面と\u003ci\u003eのその場\u003c\/i\u003e反応。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eさらに、ジボランは化学的に不安定であり、したがって分解するため、充填後の経過時間が重要です (付録 1 を参照)。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eすべての成分ガスは、該当する SEMI 仕様 (可能な場合) に準拠する必要があります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e最終混合物の品質は、製造後に各シリンダーのジボラン濃度と主要な不純物 (トレーサー)、つまり H \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e 、N \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e 、O \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eを分析することによってチェックできます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI C3.56-0312 (Reapproved 0618) - Inactive","offer_id":43106910371907,"sku":"2136","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C3.56-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234234740803,"sku":"11826","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI C3.56-0600 - 置き換えられました","offer_id":40234234904643,"sku":"11828","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/CVolume_c50058c2-ac37-49b0-b7a9-650a8e3da2a0.png?v=1776703109","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/c00356-semi-c3-56-specification-for-diborane-mixtures","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}