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SEMI C3.55 - シラン（SiH4）、バルク、品質99.994%の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年2月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用されるシラン(SiH 4 )の仕様を提供するものである。
参照されるSEMI規格なし。
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