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SEMI C3.54 - シラン（SiH4）のガス純度ガイドライン -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年9月発行。
注意: 本書は、 2011年、バロット投票廃止により承認されました。
シランは、自然性、引火性の無色のガスである。
参照されるSEMI規格なし。
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