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SEMI C3.39 - 三フッ化窒素（NF3）99.98%品質の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1989年発行。前版は、 2004年3月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される三フッ化窒素(NF 3 )の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格なし。
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