Japan Store
SEMI C3.6 - シリンダー中のホスフィン（PH3）、品質99.98%の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。 初版は1981年発行。前版は、2001 年7 月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用されるホスフィン( PH3 ) の仕様を提供することである。
参照されるSEMI規格SEMI C3 - ガス仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件